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西乡固化地坪施工

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作用编辑

控制产品 (如硅芯片等) 所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。此空间的设计施工过程即可称为净化工程。

4分类编辑乱流式 (Turbulent Flow)

空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA) 进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板

乱流式回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。

优点:构造简单、系统建造成本低,洁净室的扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。

缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。层流式(Laminar)

等级名称

等级限值          

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

5μm       

容积单位

容积单位

容积单位

容积单位

容积单位       

国际单位

英制

单位

m

Ft

m

Ft

m

Ft

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Ft

M1.0 

350

9.91

75.7

2.14

30.9

0.875

10

0

 
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